一、卷對卷連續蝕刻機加工流程
卷對卷連續蝕刻機(Roll-to-Roll Continuous Etching Machine)是一種高效、精密的金屬蝕刻加工設備,其工藝流程主要包括以下幾個關鍵步驟:
放卷系統:將成卷的金屬箔材(如銅、鋁、不銹鋼等)通過張力控制系統平穩展開,確保材料在加工過程中保持恒定張力。
表面預處理:通過化學清洗或物理方法去除金屬表面的油污、氧化物等雜質,提高后續蝕刻效果的一致性。
涂布光刻膠:采用精密涂布技術在金屬表面均勻涂覆光刻膠,形成保護層。
曝光顯影:通過紫外光曝光和化學顯影,將設計圖案轉移到光刻膠層上,形成蝕刻掩模。
連續蝕刻:材料進入蝕刻槽,通過化學蝕刻液(如酸性或堿性溶液)或物理蝕刻方法(如等離子體蝕刻)去除未被光刻膠保護的部分金屬。
清洗干燥:去除殘留蝕刻液和光刻膠,并通過熱風或紅外干燥系統使材料迅速干燥。
收卷系統:將加工完成的材料重新卷繞成卷,便于后續運輸和加工。
整個流程采用閉環控制系統,實時監控蝕刻深度、線寬精度等關鍵參數,確保加工質量穩定。
二、應用領域
卷對卷連續蝕刻技術憑借其高效率、高精度和低成本優勢,在多個領域得到廣泛應用:
電子行業:
柔性電路板(FPC)制造
觸摸屏傳感器電極
RFID天線
柔性顯示背板電路
新能源領域:
太陽能電池電極網格
燃料電池雙極板
鋰離子電池集流體
精密制造:
金屬網格電磁屏蔽材料
精密金屬網篩
裝飾性金屬蝕刻圖案
醫療設備:
可穿戴醫療傳感器電極
微創手術器械部件
醫用金屬過濾網
汽車工業:
汽車電子線路
車載傳感器元件
輕量化金屬結構件
隨著柔性電子、物聯網和新能源技術的快速發展,卷對卷連續蝕刻技術正朝著更高精度(可達微米級)、更復雜三維結構、更大幅寬(可達1.5米以上)和更環保工藝方向發展,應用前景廣闊。